该厂为8英尺晶圆生产的线配套方案的超软水机系统，一天存在含硅废水净化处理150吨。废水净化处理中虽无天价属，但硅含量高易积灰，且电阻器率需提升18MΩ·cm这样才能循环。原本有净化处工院艺不能实现新公布的《光电子工艺水危害物产生标准的》（GB39731-2020）专门产生卫生防护距离。 废水处理方法基本成分优势特点 首要环境破坏物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、颗粒物硅（粒度分布0.1-1μm） 特定符合要求 ：TOC<10μg/L，硼的含量<5μg/L 环境质量属性 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅有机物状态错综复杂 加工程序流程程序流程 革新分为"梯级膜溶合+电去化合物"组装的工艺： 微滤预处置 ：1μm工业陶瓷膜阻拦大科粒硅，通量恢复80LMH 阴离子置换环氧树脂 ：D201大孔硅橡胶考虑性吸附性硅酸团伙 一级RO系统性 ：首要段回收处理率60%，其次段采取高脱硼膜电气元件 EDI电去阴离子 ：电流量导热系数2A/m²，持续时间删去多余阴离子 UV紫外线消毒杀菌 ：254nm紫外光线使用量40mJ/cm² 技能工作亮点 搭建专用的阻硅剂（生产胺类黏结物），廷迟膜空气污染期3倍 EDI版块创新性流道结构设计，硅祛除率增强至99.8% 一直在线硅介绍仪（精确测量范畴0.1-500μg/L）变现精细调节 启用成效明显 经再次方验测： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼含量从8μg/L降为0.3μg/L 操作系统出售率从原40%升级至68% 膜调整时间调长至5年，年工作料工费变低35%