该晶圆打造厂为于华北的地区,主要的产量8英尺半导体器件晶圆,日访问量废水处理工艺减排量约800吨。因此产量的时候中动用巨大氢佛酸使用晶圆蚀刻,出现废水处理工艺中氟化物氧浓度自由高达200-300mg/L,远超国度减排基准(10mg/L下例)。
废水处理工艺部分及因素
废气主要基五个步骤:
晶圆蚀刻制作工艺
:含高氨水浓度氟化物(HF)、氯化铵及一少部分高价属
生物机械设备磨光(CMP)焦化废水
:含微米级硅颗粒状、有机质络合剂
设施设备清理生活污水
:含异丙醇、化学需氧量等生物碳物
补救的工艺工艺设计
采取"药剂学水解+沥青混凝土水解+的深度过滤器"三级分销清理系統:
1阶段治理
:加药系统氯化钙和氢腐蚀钙,导致氟化钙积淀,氟化物洗去率达85%
两级净化处理
:加入PAC(整合氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),洗去橡胶胶体部分态空气空气污染物
三級治理
:借助多物料油烟净化器器和活性酶类炭气体吸附,满水后氟化物氧化还原电位不稳在8mg/L下面
要素产品包含:pH主动调整体统、斜管沉淀出的池、板框过滤机(生活污水脱水烘干)。
以后疗效
顶目运营3年污染监测统计资料提示:
氟化物平均值含量:7.2mg/L(达不到祖国标淮)
COD删去率:92%
厌氧颗粒污泥含水分率:≤65%
年出售氟化钙副好产品约150吨,保持资原化灵活运用